在集成电路制造中，化学机械（CMP）抛光液如同芯片制造的“终极美容师”，需在原子级精度上实现晶圆表面平整，其中任何粒径的偏差都影响电路品质好坏，因此，CMP抛光液曾一度被国际化工巨头垄断，如今柯桥经开区（金柯桥科技城）一家科创企业一举突围，自主研发生产氧化铈、氧化硅抛光液，并成功实现规模化量产，撕开了国产化替代的突破口。

这家科创企业就是柯桥经开区（金柯桥科技城）的人才企业——齐芯微（绍兴）电子材料科技有限公司。

高质量补强助力产业链

走进位于壹迦科技产业园的齐芯微（绍兴）电子材料科技有限公司的生产车间，崭新的生产设备整齐排列，各个生产环节在系统操作下有条不紊进行，身着制服的技术人员正忙碌着。连日来，“齐芯微”制造的国产纳米氧化铈抛光液源源不断灌装入库。“这里是即将交付的百万级订单。”在现场，公司创始人周烈欣喜地说道，“去年11月份，随着购置的生产设备逐步到位，项目正式实现试生产，目前部分产品正送样测试，订单情况充足。”

“化学机械抛光液是半导体产业链中重要环节，就目前来说，这一过程中使用到的氧化铈、氧化硅等抛光液，长期依赖国外进口。”周烈解释道，正是瞅准了这一细分赛道的“国产替代”，自己和创始团队的成员们凭借在该行业10余年的工作经验和技术积淀，研发出独特技术，并达到国内外领先水平。

随着国内半导体先进制程从28nm向14nm进阶，单颗芯片的抛光步骤也随之激增，抛光液用量更是呈现出5至8倍增长，这些都给予了CMP抛光液广阔的市场前景。为此，“齐芯微”在依托柯桥生产基地的基础上，精益求精不断研发，目前公司具备“研发-中试-量产”的垂直整合能力，并已通过国内头部晶圆厂的技术验证。

全流程服务跑出“加速度”

产品一经问世，就赢得国内头部晶圆厂的青睐，作为一家外来的科创企业，“齐芯微”能如此之快在柯桥这片土地上“落地生根结果”，快速融入到绍兴半导体产业链，这其中离不开柯桥经开区（金柯桥科技城）的“全流程服务”。

“无论是在前期的资金扶持上，还是生产场地的对接，以及帮忙介绍下游客户，柯桥经开区（金柯桥科技城）在项目推进过程中都给予了不少帮助，这些都让我们感受到来自政府的满满诚意。”周烈表示，“齐芯微”通过柯桥区“人才+平台”A类项目引进，随后柯桥经开区（金柯桥科技城）便帮忙对接本地产业园，协调出2000余平方米的标准化厂房，让项目投产驶上“快车道”。

如今，公司生产运营逐渐驶入正轨，氧化铈抛光液、氧化硅抛光液两款核心产品达到量产出货状态，成功直接或间接参与到中芯国际、京东方等产品的供应链中，此外公司还在研制Copper BULK抛光液、钨抛光液等，凭借多元化产品布局，以满足不同行业的需求，不断增强市场竞争力，为绍兴半导体产业高质量发展提供“底盘”。

--文章来源于【柯桥日报】