铜金属互联层抛光

铜 CMP Slurry CSP 5020

阻挡层CMP Slurry BSP 8100

钨金属接触层抛光

钨金属 CMP Slurry WCP 7200

多晶硅介质层抛光

多晶硅 CMP Slurry PSR 6150

浅槽隔离层抛光

介电层 CMP Slurry STI 6110